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实验室名称
北京市集成电路先导工艺工程技术研究中心
接收首都科技创新券实验室
所属领域 电子信息
所属类型 北京市工程技术研究中心
认定部门 北京市科学技术委员会
认定时间 2011年
依托单位 中科院
主任 陈大鹏
领衔专家 北京市集成电路先导工艺研发中心依托国家科技重大专项引进了具有丰富产业经验和杰出创新能力的海外高级人才,同时结合微电子所原有研发团队,组成了一支国际水平的集成电路技术先导研发队伍。目前在职员工共计112人,其中中组部千人计划4人,中科院百人计划5人,硕、博士人员占总人数比例58%。累计培养研究生68名,其中博士10名,硕士48名,联合培养10名。 朱慧珑,博士,博士生导师和研究员,集成电路先导工艺研发中心首席科学家,国家重大专项02专项项目首席专家,中组部2009年第一批“千人计划”入选者,主要从事纳米器件关键工艺技术先导研究。 赵超,博士,博士生导师和研究员,集成电路先导工艺研发中心主任,国家重大专项02专项项目副首席专家,中组部 “千人计划”入选者,主要从事先导工艺关键模块研究与先导工艺平台建设。
平台 高性能集成电路(IC)技术支撑平台
服务内容 北京市集成电路先导工艺工程技术研究中心,具有全套的CMOS/MEMS研发工艺,技术优势和人力优势集中体现在纳米器件的研发,从新材料,新结构,新工艺出发,建立了0.5微米多晶硅CMOS以及0.5微米HKMG CMOS工艺标准,尤其是建立了22纳米HKMG CMOS的IP库。中心对外开展各种研发服务,尤其体现在特种器件,特种工艺的研发;另外,中心还具有各种前沿精准的量测仪器,涵盖材料的表面表征,材料的成分分析,器件的结构分析,各种介质层的剖面分析等各个方面。
联系方式
机构名称 北京科岳中科科技服务有限公司(中国科学院北京国家技术转移中心)
负责人 刘庆莲
联系人 张利军
电话 010-82628024
邮箱 zhanglj@cashq.ac.cn
地址 北京市海淀区中关村保福寺100 号103 室
邮编 100086