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设备名称 溅射台控制系统
所属领域 电子信息
所在单位 中科院
厂商及型号规格 3180,3件
性能参数 片内均匀性:<±3%;片间均匀性:<±5%
主要功能及应用领域 离子注入掺杂(As、B、P等)
仪器原值(万元) 11.699999809265137
启用时间 2009
联系方式
机构名称 北京科岳中科科技服务有限公司(中国科学院北京国家技术转移中心)
负责人 刘庆莲
联系人 张利军
电话 010-82628024
邮箱 zhanglj@cashq.ac.cn
地址 北京市海淀区中关村保福寺100 号103 室
邮编 100086