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设备名称 可溯源的计量型扫描探针显微镜
所属领域 新材料
所在单位 中科院
厂商及型号规格 自我研制 NANOCTR-I
性能参数 本仪器由原子力显微镜主体,高精度三维激光干涉测距装置,测控系统和精密温控箱组成,通过激光干涉将样品台位移与633nm碘稳频氦氖激光波长相联系,使原子力成像测量实现计量溯源
主要功能及应用领域 三维表面形貌成像分析,接触模式; SPM扫描范围:X/Y方向:100nm-100μm, Z方向:10nm - 10μm。激光干涉测量灵敏度:0.1nm
仪器原值(万元) 120.0
启用时间 2009
联系方式
机构名称 北京科岳中科科技服务有限公司(中国科学院北京国家技术转移中心)
负责人 刘庆莲
联系人 张利军
电话 010-82628024
邮箱 zhanglj@cashq.ac.cn
地址 北京市海淀区中关村保福寺100 号103 室
邮编 100086