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设备名称 扫描电子显微镜/聚焦离子束双束系统
所属领域 新材料
所在单位 中科院
厂商及型号规格 Nova200 NanoLab
性能参数 Nova200 NanoLab双束系统是一台高度集成化的纳米技术工作站。可以直接生成、修改与表征纳米级结构
主要功能及应用领域 (1)离子束刻蚀;(2)XeF2绝缘体增强刻蚀;(2)离子束沉积金属Pt,绝缘体SiO2;(3)电子束沉积金属Pt;(4)电子束/离子束曝光;(5)电子束/离子束成像
仪器原值(万元) 650.0
启用时间 2009
联系方式
机构名称 北京科岳中科科技服务有限公司(中国科学院北京国家技术转移中心)
负责人 刘庆莲
联系人 张利军
电话 010-82628024
邮箱 zhanglj@cashq.ac.cn
地址 北京市海淀区中关村保福寺100 号103 室
邮编 100086