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设备名称 射频电源
所属领域 电子信息
所在单位 北方工业大学
厂商及型号规格 中国科学院微电子研究所 1KW
性能参数 13.56MHz,5-1000W
主要功能及应用领域 等离子体反应器驱动电源
仪器原值(万元) 2.450000047683716
启用时间 2009
联系方式
机构名称 北京企中电子有限公司
负责人 刘伟力
联系人 刘 宾
电话 010-88803294
邮箱 ROBBEN@NCUT.EDU.CN
地址 北京市石景山区晋元庄路5号北方工业大学五教12层
邮编 100144