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设备名称 等离子增强淀积机
所属领域 电子信息
所在单位 北京大学
厂商及型号规格 STS公司/PECVD
性能参数 真空度10^(-4)T,双频,双电源,进气温度250℃,衬底温度300℃
主要功能及应用领域 主要用于制备集成电路或其他半导体芯片表面钝化保护层,以提高器件可靠性和稳定性
仪器原值(万元) 417.6400146484375
启用时间 2009
联系方式
机构名称 北京北达燕园微构分析测试中心有限公司
负责人 江向峰
联系人 马 靖
电话 010-62423361 4000064028
邮箱 mj@labpku.com
地址 北京海淀中关村北大街116号北京大学科技园2112
邮编 100084