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设备名称 溅射台
所属领域 电子信息
所在单位 北京工业大学
厂商及型号规格 中国科学院微电子中心 JS-2型
性能参数 使用Au、Ti、AuGeNi等金属靶将金属溅射到片子上,真空度达到10E-4Pa
主要功能及应用领域 使用Au、Ti、AuGeNi等金属靶将金属溅射到片子上
仪器原值(万元) 31.93000030517578
启用时间 2010
联系方式
机构名称 北京工大智源科技发展有限公司
负责人 王 锋
联系人 王金国
电话 010-67391497
邮箱 kjckfs2@bjut.edu.cn
地址 北京市朝阳区平乐园100号
邮编 100124