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设备名称 真空气相沉积系统
所属领域 电子信息
所在单位 北京大学
厂商及型号规格 SpecialtyCoating公司/PDS-2010
性能参数 薄膜厚度均匀性淀积Parylene薄膜,厚度100nm-50μm,薄膜厚度均匀性优于10%;原料全容量150g,制冷器冷凝温度-90℃以下
主要功能及应用领域 利用本设备可制备金属、合金、陶瓷薄膜,也可以制备复合薄膜,在功能性薄膜材料开发上得到重要应用
仪器原值(万元) 37.79999923706055
启用时间 2009
联系方式
机构名称 北京北达燕园微构分析测试中心有限公司
负责人 江向峰
联系人 马 靖
电话 010-62423361 4000064028
邮箱 mj@labpku.com
地址 北京海淀中关村北大街116号北京大学科技园2112
邮编 100084