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设备名称 薄膜蒸镀仪
所属领域 电子信息
所在单位 北京大学
厂商及型号规格 Kurt J.Lesker公司/AXXIS
性能参数 电子束蒸发,带预抽室,主真空室真空10^(-8)Torr。304SS18"diameter by 15"deep Poocess chamber.304SS18"diameter by 15"deep Poocess chamber,1500L/S Cryopnmp
主要功能及应用领域 利用本设备可制备金属、合金、陶瓷薄膜,也可以制备复合薄膜,在功能性薄膜材料开发上得到重要应用
仪器原值(万元) 250.44000244140625
启用时间 2009
联系方式
机构名称 北京北达燕园微构分析测试中心有限公司
负责人 江向峰
联系人 马 靖
电话 010-62423361 4000064028
邮箱 mj@labpku.com
地址 北京海淀中关村北大街116号北京大学科技园2112
邮编 100084