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设备名称 多功能磁性溅射台
所属领域 电子信息
所在单位 北京航空航天大学
厂商及型号规格 北京镨玛泰克真空科技有限公司 MP700
性能参数 本低真空极限6.7X10-5,分子泵1200升/秒,6个阴极把并对应2台射频电源及4台直流电源,2英寸原型基片
主要功能及应用领域 可以进行射频、直流或中频磁控溅射镀膜、可以通过不同模块组合实现不同的镀膜工艺
仪器原值(万元) 72.9000015258789
启用时间 2013
联系方式
机构名称 北京北航先进工业技术研究院有限公司
负责人 李 军
联系人 刘毅婷
电话 010-82338428
邮箱 liuyiting@buaa.edu.cn
地址 海淀区北四环中路238号柏彦大厦701室
邮编 100091