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设备名称 场发射扫描电子显微镜
所属领域 电子信息
所在单位 北京理工大学
厂商及型号规格 S-4800型
性能参数 二次电子影像分辨率1.0nm(15kV,WD:4mm)、1.4nm(15kV,WD:1.5mm)、2.0nm(1kV,WD:1.5mm);放大倍率20~2000×LM mode,100~800000×HM mode ;电子光学透镜,加速电压为0.5~30kV(0.1kV steps),着陆电压为0.1~2.0kV(减压模式),透镜系统为3级式电磁透镜收束系统,接物孔径为4孔连续可调整移动式,像差线圈为8极电磁式透镜系统,偏向扫描线圈为2级电磁式偏向线圈;Type I(5轴马达自动),X方向0~50mm,Y方向0~50mm,Z方向1.5~30mm,Tilt为-5~70°,360°,样品尺寸为100mm dia.(max.)、150 mm dia.(option);电子束偏移量为±12um (WD = 8 mm)±5.;二次电子探测器;二次电子信号, x-ray 信号;全自动气动阀门控制系统,电子枪真空度为10-7Pa,样品室真空度为10-4Pa;图像观察模式分别为全画面显示模式(1280×1024)、小画面模式(640×480)、调整用小画面模式(320×240)和双画面显示模式 (640×480,2);扫描速度分别为TV scan (640×480, 25/30 frames/s)、 Fast scan (6.25/7.5 frames/s)、 Slow scan (1/4/20/40/80 s/frame)和拍照(2560×1920 pixels, 40/80/160/320 s/frame)
主要功能及应用领域
仪器原值(万元) 335.29998779296875
启用时间 2011
联系方式
机构名称 北京中天地信检测技术有限公司
负责人 刘旭东
联系人 高 雅
电话 010-68914920
邮箱 gaoya.2008.happy@163.com
地址 北京理工大学产业楼235室
邮编 100081