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设备名称 膜厚测试仪
所属领域 工业设计
所在单位 中国电子科技集团
厂商及型号规格 XP-1
性能参数 测量范围1nm-100μm,精度0.15nm@10μm
主要功能及应用领域 台阶测量
仪器原值(万元) 53.34000015258789
启用时间 2012
联系方式
机构名称 中国电子科技集团公司电子科学研究院
负责人 陈 捷
联系人 赵 阳
电话 010-68893126-9
邮箱 sdkjtjpt@sina.cn
地址 北京市石景山区双园路11号
邮编 100041