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设备名称 椭圆偏振光谱分析仪
所属领域 电子信息
所在单位 清华大学
厂商及型号规格 法国Sopra公司,GES5
性能参数 210-2000nM
主要功能及应用领域 用于半导体、导体、介质和液体薄膜的厚度、光学特性、成分比例和表面粗糙度等测量和分析,也可用于半导体器件和FPD显示等领域
仪器原值(万元) 79.4000015258789
启用时间 2009
联系方式
机构名称 科威国际技术转移有限公司
负责人 谭鸿鑫
联系人 刘芷彤
电话 010-62795180-261
邮箱 lzt@ittc.com.cn
地址 海淀区中关村东路1号清华科技园科技大厦B座701B/D室
邮编 100084