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设备名称 光刻机
所属领域 装备制造
所在单位 中科院
厂商及型号规格 PLA-501F
性能参数 分辨率:2mm;曝光均匀性:<±3%;对准精度:<±0.1mm;线宽均匀性:<2mm±0.2mm
主要功能及应用领域 硅片的图形光刻(4"),机器的分辨率:2mm;曝光均匀性:<±3%;对准精度:<±0.1mm;线宽均匀性:<2mm±0.2mm
仪器原值(万元) 55.0
启用时间 2010
联系方式
机构名称 北京科岳中科科技服务有限公司(中国科学院北京国家技术转移中心)
负责人 刘庆莲
联系人 张利军
电话 010-82628024
邮箱 zhanglj@cashq.ac.cn
地址 北京市海淀区中关村保福寺100 号103 室
邮编 100086