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设备名称 纳米位移动台
所属领域 装备制造
所在单位 中科院
厂商及型号规格 非标
性能参数 控制模式:开环/闭环;位移测量精度:±0.05%FS(电容传感器),±0.1%FS(电阻应变片);位移测量分辨率:16bit闭环控制精度:0.1%FSR
主要功能及应用领域 微米级、纳米级的微定位、微操作
仪器原值(万元) 12.0
启用时间 2010
联系方式
机构名称 北京科岳中科科技服务有限公司(中国科学院北京国家技术转移中心)
负责人 刘庆莲
联系人 张利军
电话 010-82628024
邮箱 zhanglj@cashq.ac.cn
地址 北京市海淀区中关村保福寺100 号103 室
邮编 100086