服务电话:010-62577305
当前位置:首页仪器设备-详细信息
设备名称 扩散炉(PECVD)
所属领域 装备制造
所在单位 中科院
厂商及型号规格 NEXTRAL D200
性能参数 扩散炉的性能参数:厚度在1um以下;主要功能:生长SiNx和SiO介质,做钝化层等
主要功能及应用领域 生长SiNx和SiO介质,做钝化层等
仪器原值(万元) 130.0
启用时间 2010
联系方式
机构名称 北京科岳中科科技服务有限公司(中国科学院北京国家技术转移中心)
负责人 刘庆莲
联系人 张利军
电话 010-82628024
邮箱 zhanglj@cashq.ac.cn
地址 北京市海淀区中关村保福寺100 号103 室
邮编 100086