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设备名称 X射线曝光对准系统
所属领域 装备制造
所在单位 中科院
厂商及型号规格 非标
性能参数 图形位置精度40nm,对准精度30nm,SPP条纹对接40 nm(地址≤125nm)、50nm(地址>125nm),MPG条纹对接35nm,PSM层到层定位精度(≤600nm抗蚀剂)60nm,阵列定位精度0.15mm
主要功能及应用领域 X射线曝光对准
仪器原值(万元) 28.0
启用时间 2010
联系方式
机构名称 北京科岳中科科技服务有限公司(中国科学院北京国家技术转移中心)
负责人 刘庆莲
联系人 张利军
电话 010-82628024
邮箱 zhanglj@cashq.ac.cn
地址 北京市海淀区中关村保福寺100 号103 室
邮编 100086