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  • LTB光谱仪

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:LTB公司 ELIAS-III
    性能参数:193nm激光光源适用 线宽精度:±22fm
    功能用途:光谱检测


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  • LTB绝对波长测量光谱仪

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:LTB公司 基于ELIAS型改造
    性能参数:193nm激光光源适用 波长精度:±100fm@193.368nm
    功能用途:光谱检测


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  • 紫外数字成像系统

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:Cooke公司 SENSICAM UV
    性能参数:光谱响应:190-1100nm
    功能用途:气体高压放电过程监控及紫外实验中的光路校准


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  • 红外热成像系统

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:FLUKE公司 TI32
    性能参数:像素:320*240 温度测量范围:-20℃~600℃
    功能用途:红外热成像检测与分析


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  • 光束质量分析仪

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:Spirion公司 SPIRION PY-III-C-A
    性能参数:光谱范围:13-355nm,1.06-3000um
    功能用途:光束质量分析


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  • 激光光束质量诊断仪

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:Spirion公司 LBA-USB-SP620
    性能参数:光谱范围:190-1300nm
    功能用途:光束质量分析


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  • 水平度测量系统

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:Wyler 016F150-122-001
    性能参数:灵敏度1μm/m,测量范围±20mm/m
    功能用途:保障精密光学检测平台及其工件台调平工作的正常展开


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  • 6自由度微位移台

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:PI P-587.6CD
    性能参数:运动范围:XY向:800μm,Z向:200μm; 定位精度:XY向:±3nm,Z向:±2nm; 运动平面度误差:<15nm
    功能用途:用于对准系统标记的精确移动和定位


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  • 光束质量分析仪

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:ELRC QBIT
    性能参数:波长:193nm 最大光束尺寸:8mm*18mm 帧频:15 最大探测能量:5mJ
    功能用途:光束质量分析


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  • 2轴微位移台

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:PI P714.2CD
    性能参数:运动范围:XY向:15μm; 重复定位精度:XY向:<4nm; 线性度:0.3%
    功能用途:微小位移的高精度运动定位


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  • 三轴位移测量干涉仪

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:Agilent 5517
    性能参数:在百mm范围内位移测量分辨率1nm
    功能用途:实时监测、标定掩模台运动


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