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设备名称 步进光刻机
英文名称 Stepper
所属领域 新材料
所在单位 清华大学
厂商及型号规格 荷兰ASML公司 PAS2500/40
图片
性能参数 5英寸硅片,分辨率0.8微米
主要功能及应用领域 分步重复光刻机,用于集成电路制造
仪器原值(万元) 828万元
启用时间 2003-02
联系方式
机构名称 科威国际技术转移有限公司
负责人 谭鸿鑫
联系人 杨 楠
电话 010-62795180-509
邮箱 yangn@ittc.com.cn
地址 海淀区中关村东路1号清华科技园科技大厦B座701B/D室
邮编 100084