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设备名称 电子束曝光机
英文名称 EBEAM lithography system
所属领域 新材料
所在单位 清华大学
厂商及型号规格 日本电子公司 JBX6300FS
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性能参数 100KV/12MHZ
主要功能及应用领域 电子束曝光
仪器原值(万元) 1500万元
启用时间 2006-11-20
联系方式
机构名称 科威国际技术转移有限公司
负责人 谭鸿鑫
联系人 刘芷彤
电话 010-62795180-261
邮箱 lzt@ittc.com.cn
地址 海淀区中关村东路1号清华科技园科技大厦B座701B/D室
邮编 100084