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设备名称 聚焦离子束系统
英文名称 FOCUSED ION BEAM (DUAL BEAM)
所属领域 生物医药
所在单位 电子光学与电子显微镜实验室(校级公共平台)
厂商及型号规格 FEI  STARTA DB235
图片
性能参数 "电子束分辨率(Resolution):3 nm@1 KV,<3 nm @30 KV;离子束分辨率:<7 nm@30 KV;沉积金属铂(Pt);金属和非金属增强刻蚀。 沉积金属线条最细优于40nm;刻蚀线宽最细优于20nm。
主要功能及应用领域 "仪器主要功能(Functions):
仪器原值(万元) 993.3万元
启用时间 2002-01-01
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