服务电话:010-62577305
当前位置:首页找资源仪器设备详细信息
设备名称 有机金属化学淀积系统
英文名称
所属领域 生物医药
所在单位 人工微结构与介观物理国家重点实验室
厂商及型号规格 Thomas swan  3X2" GaN
图片
性能参数 3×2",380 V,50 Hz,100 A,3 Phase氮化镓(基)材料及器件的生长制备。
主要功能及应用领域 该制备采用喷淋头式气体分配系统及垂直式反应腔。主要运用于GaN相关的光、电子学器件结构的外延生长。
仪器原值(万元) 1069.3万元
启用时间 2002-01-01
联系方式