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成果名称 一种新型金刚石自支撑膜的制备技术
所属领域 新材料
成果所属成员单位名称 北京科技大学
技术关键词 金刚石膜、自支撑膜、大面积高质量、快速沉积、
市场应用关键词 金刚石支撑膜、工具级金刚石、光学级金刚石
成果或技术描述 本项目是国家863计划”85” 和”95”重大项目的阶段性研究成果(合作单位:河北省科学院)。 包含”大面积高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜高速沉积设备”和”大面积高质量金刚石自支撑膜制备工艺”两部分。其目标是向国内外市场提供大面积高质量廉价金刚石自支撑膜,降低生产和使用成本,提高产品市场竞争力。 通过几年连续攻关研究,该项技术目前已经基本成熟,设备和工艺已在广东、北京和天津的一些工厂和研究院所应用。 目前该项目已开发两种不同功率级别,100千瓦级和30千瓦级的设备。其中, 工具级金刚石膜沉积速率:40~50mm/h,沉积面积:110mm (100千瓦级)或60mm (30千瓦级)。利用本项目技术生产的工具级金刚石膜可达到的指标:面积可以达到110mm (100千瓦级) 或60mm (30千瓦级);厚度最大能够做到2mm厚;维氏硬度:8000~11000 kg/mm2; 抗弯强度:不小于300 MPa。 光学级金刚石自支撑膜,目前其最大沉积面积为60mm, 厚度约为0.6mm,从紫外区(0.22m)到远红外区(>20m直至微波)透明, 8~12m波段透过率~70%,热导率~19W/cm.k;各项物理化学性能均与天然Ⅱa型宝石级金刚石单晶接近,性能优异,完全可以替代天然金刚石使用。
联系方式
机构名称 北京科大分析检验中心有限公司
负责人 张明忠
联系人 刘亚东
电话 010-62340208
邮箱 lyd@ustbtc.com
地址 北京市海淀区学院路30号
邮编 100083