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微/纳加工公共平台

 
 
 

  实验室设备总值近3000万元,代表仪器包括:电子束光刻机、离子束光刻机、紫外——可见——近红外拉曼光谱仪、反应离子刻蚀机等,均为微/纳米器件加工相关学科必需的设备,具有很强的公用性,可为开展物理电子学、微电 子学、凝聚态物理和物理化学等相关领域研究的科研院所和企业提供高水平的科技服 务。

(北京大学研发实验服务基地)

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